СИЛИЦИРОВАНИЕ, поверхностное или объёмное насыщение материала кремнием. Производится обработкой материала в парах кремния, образующихся при высокой темп-ре над кремниевой засыпкой, или в газовой среде, содержащей хлорсиланы, восстанавливающиеся водородом (напр., по реакции SiCl₄ + 2Н₂ = Si + 4HCl). Применяется преим. как средство защиты тугоплавких металлов (W, Мо, Та, Ti и др.) от окисления. Стойкость к окислению обусловливается образованием при С. плотных диффузионных "самозалечивающихся" силицидных покрытий (WSi₂, MoSi₂ и др.). Широкое применение находит силицированный графит.

По материалам БСЭ.